堆栈式溅射系统设计理念

       堆栈式溅射系统是赉晟团队针对用于晶界扩散技术中重稀土金属镀层（镝/铽，Dy/Tb）生产的独特要求而有针对性提出的溅射镀膜系统设计理念。具体而言，重稀土金属镀层生产具有：（1）厚度高、生产效率要求高；（2）镝/铽靶材昂贵、要求靶材利用率高；（3）镀层厚度均匀性一致性高以及（4）设备价格/能耗低等要求。基于此，相对于传统水平通过式系统的不足，赉晟团队提出堆栈式系统（Stacking System）的设计方案。

       传统水平通过式溅射系统主要继承了光伏/半导体等行业的设计思路，采用进料室、预处理室、镀膜室、冷却室以及出料室这样的多腔室结构，采用间歇通过方式完成镀膜。此类设计存在如下可以改进的地方：（1）多腔室设计冗余；（2）镀膜室前后缓冲区过大；（3）间隙式通过导致溅射源连续工作时间短、整体效率不高；（4）料盘头部/尾部进入/脱离溅射源区域前后，溅出靶材会有较大边际损失。

       针对于此，堆栈式设计：（1）采用三腔室结构：堆栈进、出料室及镀膜室来替代多腔室结构；（2）镀膜时利用堆栈进、出料室替代传统镀膜室的进料、出料缓冲区；（3）采用多块料盘连续通过的方式通过镀膜区，既部分降低了溅出靶材的头尾损失，也延长了溅射源的连续工作时间，有效提高了设备生产效率。

       赉晟科技基于堆栈式设计理念生产制造的LS-DZ系列重稀土专用镀膜系统已于2024年底通过了宁波市经信局组织的新产品鉴定及浙江省首台套认定，并为宁波多家客户提供了长期且稳定的重稀土镀膜服务。