DLC镀层在零件表面改性的应用

       在利用气相沉积技术制备的各种薄膜材料中，类金刚石（DLC）薄膜因其高硬度、低摩擦系数、良好的生物相容性、化学惰性以及低电导率等优异性能被广泛地应用在诸多工业领域中。DLC 薄膜现已被用来描述一系列的碳基薄膜，并可以根据是否含氢分为含氢与不含氢两大类。进一步可以根据薄膜中碳sp2、sp3 杂化键的含量以及是否掺杂元素细分为更多种类。

       DLC镀层的制备可以通过多种PVD/CVD方法获得，赉晟科技主要利用空心阴极放电辅助化学气相沉积法（HCD-PECVD）。利用该方法可以用来设计制造a-C:H为主的DLC，具有沉积速率快、硬度可调等其它方法不具备的优势。

       该方法生产的DLC镀层，首先具有良好的化学惰性，可以完美的应用在零件表面（尤其是内表面）的耐腐蚀应用领域。通过结构设计，可以满足在强酸/强碱乃至高温条件下的耐腐蚀要求；其次，该方法生产的DLC镀层，硬度可以在10~18GPa内可调，利用其厚度优势来满足耐冲蚀的要求；最后，结合DLC镀层低摩擦系数的特点，可以满足更为复杂场合下的综合使用需求。